LGBC電池是有激光刻槽埋柵電極(Lasergrooveburycontact)工藝電池的簡稱。由UNSW開發的技術，是利用激光技術在硅表面上刻槽，然后埋入金屬，以起到前表面點接觸柵極的用途。如圖所示，發射結擴散后，用激光在前面刻出20μm寬、40μm深的溝槽，將槽清洗后進行濃磷擴散，然后槽內鍍出金屬電極。電極位于電池內部，減少了柵線的遮蔽面積，使電池效率達到19.6%。

與傳統工藝的前表面鍍敷金屬層相比，這種電池具有的優點是：柵電極遮光率小、電流密度高，埋柵電極深入硅襯底內部可新增對基區光生電子的收集，濃磷擴散降低濃磷區電阻功耗和柵指電極與襯底的接觸電阻功耗，提高了電池的開路電壓。

這種電池既保留了高效電池的特點，又省去了高效電池制作中的一些復雜的工藝，很適合利用低成本、大面積的硅片進行大規模生產。目前這一技術已經轉讓給好幾家世界上規模較大的太陽能電池生產廠。如英國的BpSOLAR和美國的SOLAREX等。

激光刻槽埋柵電池的大致工藝流程為：

硅片-》清洗制絨-》淡磷擴散-》熱氧化鈍化-》開槽-》槽區濃磷擴散-》背面蒸鋁-》燒背場-》化學鍍埋柵-》背面電極-》減反射膜-》去邊燒結-》測試。

圖：新南威爾士大學激光刻槽埋柵電池h=19.8%

4.高效晶體硅太陽能電池-OECO電池

OECO電池是傾斜蒸發金屬接觸(Obliquelyevaporatedcontact，OECO)硅太陽能電池的簡稱。

OECO太陽電池是德國ISFH研究所從九十年代就開始研制的一種新型單晶硅電池。與其他高效電池相比，具有結構設計新穎、制作簡單、電極原料無損耗、成本低廉和適合大批量生產等優點。OECO電池結構基于金屬-絕緣體-半導體(MIS)接觸，利用表面溝槽形貌的遮掩在極薄的氧化隧道層上傾斜蒸鍍低成本的Al作為電極，無需光刻、電極燒穿、電極下重摻雜和高溫工藝即可形成高質量的接觸，并且一次性可蒸鍍大批量的電池電極。更為重要的是當這種電池制作面積從4cm2擴大到100cm2時，效率也只是從21.1%略微降到20%，仍然屬于高效范圍，所以這種結構的電池更適宜于工藝生產。

OECO結構示意圖如圖8所示，電池的表面由許多排列整齊的方形溝槽組成，淺發射極n+位于硅片的上表面，在其上有一極薄的氧化隧道層，Al電極傾斜蒸鍍于溝槽的側面，然后利用pECVD蒸鍍氮化硅作為鈍化層和減反射膜

OECO電池有以下特點：

(1)電極是蒸鍍在溝槽的側面，有利于提高短路電流;

(2)優異的MIS結構設計，可以獲得很高的開路電壓和填充因子;

(3)高質量的蒸鍍電極接觸;

(4)不受接觸特性限制的可以被最優化的淺發射極;

(5)高質量的低溫表面鈍化。

電池的制作具體過程為：

前表面機械開槽→化學腐蝕清洗→背面掩膜(擴散)→前表面化學制絨→使用液態源pOCl3進行磷擴散制作n+發射極→打開背面接觸→真空蒸鍍Al作為背電極→前表面低溫熱氧化形成氧化隧道層→前表面無需掩膜直接傾斜蒸鍍Al作為面電極→使用導電膠將各個面電極連接起來→采用pECVD法在前表面蒸鍍氮化硅作為鈍化和減反射層。

圖：德國ISFH的OECO電池h=21.1%

5.高效晶體硅太陽能電池-N型晶體硅電池

N型硅襯底的優點：N型硅(n-Si)相關于p型硅來說，由于對金屬雜質和許多非金屬缺陷不敏感，或者說具有很好的忍耐性能，故其少數載流子具有較長而且穩定的擴散長度。

目前只有Sunpower和sanyo兩家公司N型Si襯底生產高效太陽能電池做得較好。英利“熊貓”N型單晶硅高效電池項目填補了國內N型電池技術的空白。

如何在N型硅襯底上實現pN結：硼擴散制結、非晶硅/晶硅異質結以及Al擴散制結三種基本方法。

硼擴散制結要高溫，高溫是太陽能電池制備工藝最忌諱的!

HIT電池只有Sanyo做得較好，沒有推廣。

Al推進制結目前受到普遍關注，因其價格低廉而又容易實現。具體工藝參數信息見附圖，對專業人士很有參考價值。