太陽能電池擴散設備，包括擴散爐和機臺排風端。太陽能電池擴散設備的運轉流程是，擴散爐內產生的廢氣通過管道從機臺排風端排出，機臺排風端安裝排風壓力控制閥和相應的排風壓力控制器。抽氣排風壓力穩定后，磷在硅片中的注入濃度穩定后，方塊電阻也隨之穩定，可以提升最終太陽能電池的效率５％。 擴散爐是太陽能電池片形成P-N結的核心組件，擴散爐的質量直接影響到電池片的性能。現在太陽能廠家流行的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟著陸擴散，開管擴散的產量比較低，偏磷酸的用量比較大；閉管擴散工藝過程完全不受外界環境干擾；軟著陸擴散是根據現有6-8英寸集成電路擴散設備，而提出的新概念；軟著陸擴散工藝質量完全受控；工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安環保。